Детекторы и приставки:

Детекторы: SE и InLense SE, детектор STEM
Система фокусированного ионного пучка FIB
Система осаждения из газовой фазы – GIS
Детектор обратно рассеянных электронов (EBSD) HKL Channel 5 на базе камеры Nordlys II
Энергодисперсионный детектор Oxford Instruments X-MAX 80, разрешение по энергии 120-130 эВ
Масс-спектрометр вторичных ионов EQS 1000
Микроманипулятор Kleindiek Nanotechnik
Методы исследования:

Растровая электронная микроскопия высокого разрешения
Просвечивающая растровая электронная микроскопия
Ионная сканирующая микроскопия
Низкие ускоряющие напряжения (до 100В)
Энергодисперсионный рентгеновский микроанализ
Кристаллографический анализ
Масс-спектрометрия вторичных ионов
Подготовка поперечных сечений фокусированным ионным пучком
Анализ трехмерной структуры объектов с помощью FIB
Трехмерный анализ структуры и состава (3D EBSD, 3D EDX, SIMS)
Подготовка образцов для ПЭМ

Ссылка на официального производителя